不同缓冲层类型InP基In0.83Ga0.17As探测器的暗电流研究
短波红外1-3μm波段在空间遥感、夜视、雷达测距及环境监测等许多应用中起着重要作用.InGaAs探测器由于可以覆盖整个短波红外波段且具有高量子效率、高工作温度、抗辐照性能良好等特性使得其在短波红外遥感领域有着得天独厚的优势.当InP基InGaAs探测器的截止波长从1.7μm扩展至2.5μm时,InxGa1-xAs材料中的In组分需从0.53增加至0.83,In组分的增加带来的失配会导致材料缺陷及器件性能劣化.因此,在衬底和吸收层之间插入合适的缓冲层以释放应力就显的尤为必要.
磷化铟基红外探测器 缓冲层类型 暗电流性能 截止波长
奚苏萍 顾溢 陈星佑 马英杰 师艳辉 杜奔 张见 张永刚
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室,上海 200050
国内会议
太原
中文
130-131
2017-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）