倒装LED芯片在线光学测试实时误差校正方法研究

摘要：

在生产线上测试倒装LED芯片光电参数时,蓝膜和石英玻璃对被测光的选择性吸收是产生在线测试误差的主要原因,并对辐射通量的测试有重大影响.本文提出一种用于在线辐射通量测量的误差校正新方法,建立误差分析模型,最终导出误差校正函数,该函数与蓝膜和石英玻璃的光学特性以及被测芯片的光谱功率分布相关.为验证本方法的有效性,设计和分析了用于倒装LED芯片在线测试的实验装置,据此建立在线辐射通量测试光学过程的仿真模型,采用蒙特卡洛光线追迹仿真对所提出的误差校正方法进行对比分析,结果表明该方法能够很好的校正蓝膜和石英玻璃的存在而引起的在线测试误差,其最大相对误差为3.18％.

关键词： 发光二极管 倒装芯片 在线光学测试 误差校正 辐射通量

作者: 陈腾飞 万子瑞 刘琦 付鹏 路恒 李斌

作者单位: 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国智能制造学术会议(NCIM2016)暨智能制造专业委员会2016年度工作会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2016-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）