基于工业大数据的晶圆制造系统加工周期预测方法

摘要：

利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息,提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架;针对生产线状态会随时间推移动态变化、生产数据生命周期的问题,设计了预测模型的动态更新机制;并考虑到生产线数据记录不准确的情况,比较了多种回归算法,最后以实例验证了支持向量回归(SVR)算法在处理预测问题上的鲁棒性及本文提出的基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法的有效性.

关键词： 晶圆制造业 生产线 加工周期 预测模型 工业大数据

作者: 朱雪初 乔非

作者单位: 同济大学CIMS中心 上海201804

会议类型: 国内会议

会议名称: 2016年第四届全国现代制造集成技术学术会议

会议地点: 广东佛山

会议语种:中文

页码: 1-14

在线出版日期: 2016-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）