3D打印技术制备聚合物热光开关侧电极的研究
光开关是光插复用器和光交叉互联设备的核心元件,在光通信网络中有着信息传输、交换、处理等功能.在光开关中,热光开关由于制备工艺简单、可扩型好、稳定性好而备受关注.本文对光开关芯片重要的组成部分——电极进行了研究和优化.使用3D打印技术和热压印技术,在聚合物衬底上制备出聚合物电极,直接形成光开关波导结构的侧面电极,实现在水平方向对波导施加热场和电场.材料方面,采用掺杂有金属颗粒的聚合物3D打印ABS材料作为导电电极,3D打印可以实现传统工艺无法达到的电极形状,3D打印聚合物电极材料在掺杂、改性和加工方面具备独特优势.波导结构方面,采用导热模型分析电极位置与波导热场分布的关系,优化电极位置,提高效率.工艺方面,3D打印聚合物导电电极,并利用纳米压印,把电极直接压印入衬底内部,而后采用Si波导压印模板,热压印对版制备聚合物凹槽,使得光波导和电极集成于全聚合物芯片.通过对3D打印参数和热纳米压印参数的优化,提升波导形貌和电极性能.本论文的侧面电极结构可应用于热光、电光及液晶光开关领域.
光开关 聚合物电极 3D打印 参数优化 波导形貌 电极性能
孙月 曹悦 朱鹏熹 王菲 衣云骥 张大明
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012
国内会议
厦门
中文
43-50
2016-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）