表面技术在电子工业中的应用
目前，在集成电路中得到广泛应用的表面技术有十余种，大致可以分为三类:表面预处理技术;表面涂覆技术;表面改性技术。表面预处理是大多数生产工艺流程的第一步，是为了给后续加工工艺提供一个相对洁净的表面。表面涂镀技术是在材料表面形成涂层或薄膜，通常包括电镀、化学镀、气相沉积等。表面改性技术是为了改变材料表面的性质，一般有离子注入、激光焊接技术等。
集成电路 表面预处理 表面涂覆 表面改性
邓伟 欧忠文 陈宇卓 郭曈
中国人民解放军后勤工程学院,重庆,401311
国内会议
重庆
中文
144-151
2016-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）