雲母与金属的眞空气密封接
云母与金属的真空气密封接早已在国内外的电真空器件中得到使用,但是由于云母片易分层、起皮,加工制造优质云母片又特别困难,因此封接件的热稳定性和真空气密性都很难得到保证.所以国内已有不少单位改用微晶玻璃片代替云母与金属进行真空气密封接,但这又失去了云母的高频损耗小和透明度高的宝贵性能,本文就10号钢与云母进行真空气密封的一些工艺情况进行介绍.另外，在封接过程中一定要注意零件的净化处理，保证真空卫生，防止一切油污、灰尘的沾染。
电真空器件 云母 金属 真空气密封接 净化处理
罗重钧
771厂
国内会议
北京
中文
41-44
1982-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）