差分负载式声表面波无线无源应变传感器研究

摘要：

本文提出了一种采用差分负载式的无线无源SAW应变传感结构，SAW应答器件采用双通道的反射型延迟线结构，通过差分的方法消除在应变测量过程中的温度干扰。通过理论分析与仿真，确定了电容值在2~3pF的优化的力容性敏感元件实验研制了基于890MHz的SAW应变传感器，并搭建了实验测试平台，结果表明，随着应变片所受应变的增大，反射系数S11呈线性变化。从实验结果表明，本文所设计的外接负载式无线无源应变传感器具有可行性与有效性。

关键词： 应变传感器 差分负载式 结构设计 温度干扰 测量精度

作者: 王毅坚 薛蓄峰 梁勇 王文

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049 中国科学院声学研究所,北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2017年全国声学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 539-540

在线出版日期: 2017-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）