薄膜体声波谐振器的制备

摘要：

制备了薄膜体声波谐振器的器件，其底电极薄膜和压电层薄膜择优取向分别为(110)和(002)面，分别具有残余应力-54.3MPa和54.8MPa。

关键词： 薄膜体声波谐振器 制备工艺 残余应力 性能测试

作者: 张忠山 汤亮

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2017年全国声学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 541-542

在线出版日期: 2017-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）