一种基于声子晶体的高Q值MEMS谐振器

摘要：

本文采用有限元方法，计算并讨论了含圆形孔洞和X型孔洞声子晶体的带隙特性，发现X型孔洞结构能将禁带范围稳定的集中在433MHz左右，与目前的无线通信频段兼容，于是将该结构声子晶体用于高Q值MEMS谐振器的设计中，发现该结构能大大减小器件锚损耗，提高器件Q值。

关键词： MEMS谐振器 声子晶体 结构设计 带隙特性 有限元法

作者: 王晓碧 朱浩慎 傅邱云 罗为

作者单位: 华中科技大学光学与电子信息学院,湖北武汉430074;深圳华中科技大学研究院,广东深圳518000 密歇根大学,安娜堡,美国48105 华中科技大学光学与电子信息学院,湖北武汉430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2017年全国声学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 545-546

在线出版日期: 2017-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）