石墨烯声传感器阵列设计与仿真研究
声音是传播信息的重要媒介,利用声音可以获取诸如距离、图像以及物体内部缺陷等信息.目前最为广泛使用的声学拾音器为驻极体麦克风,其利用了电容的基本原理,将外部声源的振动转换为驻极体薄膜的位移,进一步引起电容值的变化.由于石墨烯薄膜具有良好的柔韧性和导电性，有研究提出使用石 墨烯薄膜作为振动膜。基于石墨烯薄膜的声传感器在灵敏度和频率响应带宽方面有很大提升，能用来捕捉超声信号。然而，单个麦克风无法在空间实现二维声信息的实时获取，针对这一缺陷，本文提出了基于石墨烯薄膜的二维声传感器阵列，对阵列结构及其特性进行了设计与仿真研究。
声传感器 石墨烯薄膜 阵列结构 参数设计
曹凯华 叶小东 郭新华
武汉理工大学机电工程学院,湖北武汉430070
国内会议
哈尔滨
中文
763-764
2017-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）