抗振钛泵的结构设计

摘要：

对于真空器件来说，维持和提高管内真空度是一项非常重要的工作，通常采用钛溅射离子泵(简称钦泵)或是吸气剂达到上述目的。本文主要介绍了抗振钛泵的结构改进,和传统通用钛泵的结构对比,其抗振性能大大提高,可应用于有高冲击振动要求的管型中.

关键词： 真空器件 钛溅射离子泵 结构设计 抗振性能

作者: 周军 欧阳佳佳 刘咏梅 赵跃帅

作者单位: 中国电子科技集团公司第十二研究所,北京100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）