CF4等离子体处理对氧化锌纳米线电学及场发射特性的影响

摘要：

本文研究CF4等离子体处理对氧化锌纳米线的电学特性和场发射特性的影响.X射线光电子能谱(XPS)结果显示处理后样品实现了F掺杂.利用原位纳米探针对单根纳米线的电学及场发射特性进行了表征,发现处理后纳米线的电阻减小,而场发射开启电场增大,其原因主要是由于F掺杂增加了载流子浓度,造成场发射时场渗透效应减小.

关键词： 氧化锌纳米线 等离子体处理 电学特性 场发射特性

作者: 宋晓萌 陈毅聪 张志鹏 余峻聪 邓少芝 许宁生 陈军

作者单位: 光电材料与技术国家重点实验室,广东省显示材料与技术重点实验室,中山大学电子与信息工程学院,中国广州,510275

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）