碳纳米管阴极电离真空计气体脱附效应研究
本文基于超高/极高真空校准系统,结合质谱分析方法,实验研究了CNT阴极电离规工作过程中的气体成分变化,同时测试了CNT阴极电离规的宏观出气率,分析了微观气体脱附对电离规局部本底压力的影响.结果表明,CNT阴极表面独特的气体吸附一脱附特性,门极和阳极表面吸附气体受到高能电子的轰击脱附效应,均是制约电离规测量下限延伸的关键因素,通过较长时间的电流轰击和焦耳加热,可以有效降低各个电极表面的吸附气体量,将CNT阴极电离规电极出气引入的局部干扰压力降低到2.3x10-8Pa,该研究结果为推动CNT阴极电离规在超高/极高真空测量中的应用奠定了理论与实验基础.
真空测量 电离规 碳纳米管阴极 气体脱附效应
张虎忠 李得天 成永军 孙健 习振华 王永军
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,兰州,730000
国内会议
厦门
中文
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2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）