会议专题

预处理工艺对阴极蒸发速率影响的研究

采用贝克法测量原理,分别对阴极预处理工序的升温阶段、高温维持阶段和暴露大气次数等因素进行蒸发速率影响的研究,得出预处理过程中蒸发速率的变化规律;并对漏电指标要求高的某品种阴极进行预处理工艺的优化,从而提高了装管性能指标的良品率.

真空器件 阴极 预处理工艺 蒸发速率 漏电指标

赵请 王玉春 张坤 李鑫 马静 武元元 张毅

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2016-08-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)