预处理工艺对阴极蒸发速率影响的研究

摘要：

采用贝克法测量原理,分别对阴极预处理工序的升温阶段、高温维持阶段和暴露大气次数等因素进行蒸发速率影响的研究,得出预处理过程中蒸发速率的变化规律;并对漏电指标要求高的某品种阴极进行预处理工艺的优化,从而提高了装管性能指标的良品率.

关键词： 真空器件 阴极 预处理工艺 蒸发速率 漏电指标

作者: 赵请 王玉春 张坤 李鑫 马静 武元元 张毅

作者单位: 南京三乐集团有限公司 南京211800

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）