太赫兹行波管用金刚石输能窗金属化研究

摘要：

本文主要研究一种太赫兹行波管用金刚石输能窗的金属化方法,基于金刚石表面特性与太赫兹行波管服役需求,对金属化区域进行结构设计.利用PVD设备研制了金刚石金属化结构,并通过合理设计封接工艺,研制出满足太赫兹行波管用金属化金刚石输能窗.

关键词： 太赫兹行波管 金刚石输能窗 金属化区域 结构设计 封接工艺

作者: 薛辽豫 刘林 刘青伦 姚刘聪 王庆祥 王建

作者单位: 中国科学院电子学研究所,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）