超薄复合金刚石膜的研制
太赫兹行波管用微米金刚石输能窗片的厚度接近100μm甚至几十μm,带来了机械强度与气密性问题.文中设计并研制了一种100μm厚的超纳米和微米复合金刚石膜.测试结果表明,断裂强度和气密性明显优于微米金刚石膜.利用复合膜制成的两个180GHz输能窗的测试表明,在175-185GHz频率范围内,传输损耗分别为1.22dB和1.71dB,电压驻波比(VSWR)都小于或等于1.45.这种复合膜的研制提供了一种制备高机械强度、超薄的金刚石膜的方法,同时为提高太赫兹行波管用输能窗的传输性能和可靠性奠定基础.
超薄复合金刚石膜 制备工艺 断裂强度 气密性能 传输损耗 太赫兹行波管
丁明清 李莉莉 胡健楠 杜英华 蔡军 胡银富 冯进军
北京真空电子技术研究所微波电真空器件技术国家重点实验室 北京100015
国内会议
厦门
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2016-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）