阴极靶面放电特性对薄膜结构与性能的影响
依据气体放电等离子体物理学知识,通过电磁场环境调控阴阳极间气体放电类型,利用不同放电形式对沉积粒子的属性进行合理控制,使沉积粒子具有较高的离化通量和离子能量,从而制备出微观结构致密且综合性能良好的纳米晶薄膜.实验分别在气体放电辉光区、辉弧过渡区和弧光区制备三组薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观结构进行测试,利用纳米压痕仪、划痕测试仪和电化学工作站对薄膜的力学性能和耐腐蚀性能进行评定.最终,实验结果表明:辉光放电区所沉积的Ti膜具有疏松多孔的组织结构和较差的膜基结合力;弧光放电区所沉积的Ti膜具有粗糙的表面质量(微米级大颗粒存在)和较差的膜基结合力.然而,气体放电处于辉弧过渡区时,所制备的薄膜具有纳米尺度的晶粒尺寸、致密光滑的微观结构、优异的耐腐蚀抗性和良好的膜基结合力.
纯钛薄膜 气体放电 微观结构 力学性能 耐腐蚀性能
蒋百灵 杨超
西安理工大学材料科学与工程学院,陕西西安 710048
国内会议
宁波
中文
988-993
2016-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）