变截面多线螺旋电极微细电解加工微热管内表面非连续微结构研究
微热管是高热流密度微电子器件散热的关键零件,针对现有微热管内表面非连续强化传热微结构制造的难题,本项目提出了一种电解加工微热管内表面非连续微结构的新工艺,可以对此类微结构进行低成本、高效率、高表面质量的加工.设计并制备高性能工具电极、突破高定域性加工技术,优化微细电解加工工艺参数,实现不同尺寸形状的非连续微结构加工.通过对加工间隙内电场、流场特性的分析,研究微细电解加工微热管内表面非连续微结构的成形机理.为新方法未来的实际应用奠定理论基础.
微电子器件 微热管 电解加工 成形机理
王冠
广东工业大学
国内会议
沈阳
中文
141-141
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）