激光冲击波诱发提高铜纳米薄膜电性能的工艺及机理
随着MNAS器件的迅速发展,微器件和集成电子线路中连线材料的机械强度和电学性能的提高,成为制约其快速发展的关键问题.众所周知,对于金属材料而言,一般随着机械强度的提高,伴随着电性能的降低.为了同时有效提高连线材料的机械和电学性能,已成为各国科学研究人员的研究热点问题之一.本项目对利用磁控溅射方法制备的纳米铜薄膜开展激光微冲击实验研究,旨在探索激光冲击强化技术在纳米薄膜材料领域应用的新前景.
铜纳米薄膜 激光微冲击 电性能 机械性能
花银群
江苏大学
国内会议
沈阳
中文
227-227
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）