基于纳米金柱阵列结构的原子力显微镜探针针尖形貌盲重构

摘要：

原子力显微镜高精密纳米尺度测量仪器.原子力显微镜探针针尖是原子力显微镜测量不确定度的主要来源之一.探针针尖在测量过程中容易产生磨损和损坏,也容易产生污染.因此,有必要对原子力显微镜探针针尖进行形貌表征和重构.原子力显微镜探针针尖标定主要依靠特制的标准样品,标准样品制造成本过高,因此,本项目旨在开发发低成本的针尖表征样品和相关形貌重构算法.

关键词： 原子力显微镜 探针针尖 形貌盲重构 纳米金柱阵列结构

作者: 韩国强

作者单位: 福州大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 418-418

在线出版日期: 2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）