多向振动阈值传感器设计及其纳微柔性电极接触增强机制研究
基于MEMS技术的无源振动阈值传感器因其待机功耗为零、处理电路简单、不易受干扰等特点已逐步成为物联网系统中首选的振动监测传感器件.然而,目前的阈值传感器仅能对单一方向的振动加速度敏感,更为重要的是其接通信号的脉冲宽度极为短暂,给物联网系统的集成应用和信号处理造成了很大的困难.本项目以微纳集成加工技术为基础,提出了一种集多个方向加速度敏感作用于一体的微型振动阈值传感器新设计,并利用纳米纤维柔性层增强电极间的接触效果,大大拓宽了传感器接通信号的脉冲宽度.
阈值传感器 多向振动 结构设计 纳微柔性电极 接触增强机制
杨卓青
上海交通大学
国内会议
沈阳
中文
423-423
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）