基于Lamb波的微尺度管道气流多参量表征方法和器件
在快速发展的微流控芯片和微结构器件的科学研究和商业应用中,已有流量传感器仍然很难对微尺度管道中低流量气流的局域流速、边界滑移等进行精确测量,建立微尺度管道内气流多参量的传感方法和器件,具有极为重要的理论价值和实际意义.在快速发展的微流控芯片和微结构器件的科学研究和商业应用中,已有的传感器大多都是单参数测量或是多个传感器测量一个参数,并且大部分的传感器都受到外界环境温度变化的影响,导致测量精度、准确性、以及应用领域受到一定的限制.本项目以器件与流体相互作用为背景，首先针对Lamb波传感器与周围流体无理论模型问题，提出了“气流分割简化法”;针对国内实现Lamb波器件的功能材料-氮化铝制备薄膜性能不佳问题，给出了“靶亚中毒”技术等解决方法;针对单个传感器对微尺度管道的流体流动速度和压力测试表征难问题，提出了利用Lamb波的不同模式实现不同参数测试方法。
Lamb波传感器 理论模型 功能材料 微尺度管道 气流表征
周连群
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
国内会议
沈阳
中文
426-426
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）