电容式RF MEMS开关介质中电荷积累机理及其消除方法的研究
国内外对电容式RF MEMS开关的研究开发已经有十多年历史,尽管现有研究成果已充分表明其在微波工程应用领域具有出色的工作性能和无与伦比的系统集成特性.然而时至今日,长期可靠性问题依然是其大规模商业化的瓶颈,主要的失效形式就是开关介质层中电荷积累所造成的开关不可逆转的”粘连”效应.本项目旨在对开关介质层中电荷积累机理的系统性理论研究,探索控制或消除电荷积累的有效方案,为制备高可靠长寿命RF MEMS开关提供理论依据和技术支撑.
微机电开关 介质层 电荷积累 消除方法
李刚
太原理工大学
国内会议
沈阳
中文
429-429
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）