基于贵金属纳米粒子等离子体共振耦合的微加工系统调平技术

摘要：

纳米加工的关键技术是实现加工平台纳米级的调平精度,现有的多种自动调平技术均未能满足这一精度要求.本文依据纳米粒子与金属薄膜之间耦合(LSP-SPP)的距离敏感性原理,提出了一种具有高空间分辨率的距离反馈模式,并发展了一种新型的纳米间隙耦合增强微加工系统调平技术.

关键词： 微加工系统 调平技术 贵金属纳米粒子 等离子体 共振耦合

作者: 王芳芳

作者单位: 厦门大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 433-433

在线出版日期: 2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）