MEMS仿生矢量水听器”桔瓣”式复合效应封装技术研究

摘要：

MEMS水听器是当前国内外声换能器领域研究的热点之一.本项目主要针对当前MEMS仿生矢量水听器灵敏度低、频响范围窄、流噪声抑制能力差的难题,基于声波连续性方程设计了一种新型”桔瓣”式封装结构,并在”桔瓣”式封装结构的基础上设计一微型导流罩,以此提高水听器的灵敏度、频响范围和流激噪声抑制能力.

关键词： 仿生矢量水听器 微机电系统 桔瓣式封装结构 微型导流罩 声波连续性

作者: 张国军

作者单位: 中北大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 437-437

在线出版日期: 2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）