微腔-膜-沟道腐蚀自终止一次成型方法与单芯片单面加工的微流量传感器研究
硅基微流量传感器广泛应用于生物医学、食品安全、环境监测等关系国计民生的重要领域.本项目针对现有流量传感器在制备成本、能耗、系统封装等方面存在的不足,开展”微腔-膜-沟道”腐蚀自终止一次成型技术和单芯片单面加工的微流量传感器研究.解决了流量传感器微型化、低成本、IC Foundry制备工艺兼容性以及便捷式SMT封装难题.研究成果拓展了MEMS微机械加工技术,大大促进了中国微流量传感技术发展.
微流量传感器 成型技术 腐蚀自终止 单芯片单面加工
王家畴
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
国内会议
沈阳
中文
440-440
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）