基于白光扫描干涉术的超精密表面几何参数大范围快速测量方法
随着先进制造技术的不断发展,白光扫描干涉术在产业界的应用日益广泛,测试效率和测试范围的矛盾逐步显现.目前针对大范围测量问题,产业界给出的方案是通过拼接技术实现,相邻测量间的重叠范围约为20％左右.然而,这种方法所带来的额外时间开销是显而易见的,特别是在晶片测量和光学表面测量时.本项目正是针对这一问题,从大范围测量理论和测试系统开发两方面展开研究,在提出大范围测量新方法的同时开发高性能的白光干涉测量系统.
几何参数 自动化测量 白光扫描干涉术
马龙
中国民航大学
国内会议
沈阳
中文
442-442
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）