单片集成的弯曲悬臂梁式三轴热对流加速度传感器研究

摘要：

三轴加速度传感器是汽车电子和消费类电子产品市场发展的一个重要方向,有着巨大的市场份额.本项目为了解决热对流加速度传感器在三维空间测试的难题,开展了单片集成的应力弯曲悬臂梁式三轴热对流加速度传感器设计理论与CMOS兼容制造中所涉及的基础问题研究,为三维微纳机械结构和功能器件的设计提供了崭新的思路.

关键词： 热对流加速度传感器 弯曲悬臂梁 单片集成 结构设计

作者: 王权

作者单位: 江苏大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 453-453

在线出版日期: 2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）