基于聚合物先驱体陶瓷(PDC)制造耐超高温无线无源MEMS传感器的应用基础研究
航空航天领域对耐超高温和抗恶劣环境的高性能传感器系统有迫切需求,本项目提出发展一种基于聚合物先驱体陶瓷(PDC)材料的、具有高Q值和耐高温性能的谐振腔式无线无源MEMS传感器.本项目以开发PDC陶瓷材料及其MEMS微加工技术为基础，依据原子/纳米结构构建物理模型解释PDC陶瓷的高温物理性能，揭示PDC陶瓷基高Q值微波谐振腔应用于MEMS传感器的机理。在试验上，利用MEMS微加工技术制造了耐高温PDC陶瓷基无线无源的压力和温度传感器，并对传感器进行测试，评估传感器的有效性和可靠性。
微机电传感器 聚合物先驱体陶瓷 微加工技术 有效性 可靠性
余煜玺
厦门大学
国内会议
沈阳
中文
462-462
2016-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）