会议专题

基于反铁电材料外场诱导相变效应的智能传感与执行机构基础研究

反铁电功能介质材料在反铁电态(AFE)转变为铁电态(FE)的相界附近具有丰富的结构相,受外场(电场、温度及应力)诱导作用具有奇异的高密度相变瞬态电流和大位移量相变应变效应,将反铁电功能材料与MEMS技术相结合,有效整合两者在功能转换和机械特性方面的优势,可以实现硅基MEMS器件的性能提升和功能集成.

智能传感器 执行机构 反铁电材料 外场诱导 相变效应

丑修建

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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)

沈阳

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466-466

2016-08-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)