紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对NO2的气敏特性研究

摘要：

采用基于有机模板的溶液浸渍—无损转移法制备氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的氧化锌(ZnO)微纳多孔有序薄膜对二氧化氮(NO2)气敏性能的影响.结果表明,以500nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35mW/cm3紫外光照射下具有较高的灵敏度和较快的响应和恢复时间.随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大,ZnO微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低;且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇,甲醛、H2S、SO2和CH4等气体具有很好选择性.

关键词： 氧化锌微纳有序多孔薄膜 制备工艺 灵敏度 气敏性能 氮氧化物

作者: 苏星松 许宗珂 段国韬 蔡伟平

作者单位: 中国科学院固体物理研究所,安徽,合肥230031;中国科学技术大学,安徽,合肥230026 中国科学院固体物理研究所,安徽,合肥230031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 426-430

在线出版日期: 2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）