SPC在小批量多品种压力敏感芯片生产工艺中的应用
SPC即统计过程控制,是借助数理统计方法的过程控制工具.在压力敏感芯片生产工艺中对关键工艺实施SPC控制,可降低质量成本,提高产品的可靠性和成品率,保证产品生产过程的稳定性.然而在小批量多品种压力敏感芯片的统计过程控制中,传统的常规控制图已不再适用,本文选用嵌套-多品种控制图实现了压力敏感芯片生产过程的控制,并结合具体实例,对该控制图进行了验证.结果表明,该控制图对小批量多品种产品生产工艺中的统计过程控制是可行的和有效的.通过SPC技术在压力敏感芯片生产中的实践应用,使”膜片湿法腐蚀”关键工序工艺成品率提升到99.968％以上,关键工序能力指数Cpk达到了1.2以上,保证了关键工艺生产过程稳定受控,能够满足生产需要.
压力敏感芯片 生产工艺 统计过程控制 压力传感器
齐虹 尚瑛琦 张岩 李玉玲 马云龙
中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001
国内会议
成都
中文
465-469
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）