会议专题

痕量气体传感器的高精度标定问题研究

标定是气体传感器准确测量的前提.标定过程的准确性及可靠性很大程度决定了传感器的测量精度.采用动态体积法制备混合气体标定气体传感器的方法已经广泛应用.实验发现,标定气体的不确定度对标定结果影响显著,且在ppb-ppm范围内保持标定气体的组分含量稳定不变非常困难.本文针对痕量气体传感器的高精度标定问题进行了系统研究,在ppb-ppm级标定气体制备、痕量气体管道输送及高精度测量仪器等三个方面提出了改进方法,并进行了试验验证,结果表明该方法切实可行,能有效提高气体传感器标定的准确度与可靠性.

痕量气体传感器 标定方法 技术改进 测量精度

蒙瑰 周建发 彭泳卿 赵汗青 王伟魁

北京遥测技术研究所,北京100076

国内会议

第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

成都

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490-493

2016-10-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)