基于MEMS技术的阵列化MOS检测器

摘要：

本文基于Micro-Electro-Mechanical Systems(MEMS)技术,研制出高灵敏度的微型阵列化金属氧化物)(Ar-ray Metal Oxide Semiconductor,Array MOS)检测器,该检测器其敏感单元采用多单元模式,可大幅提高待检气体与敏感材料的接触面.此外检测器的敏感单元采用悬空结构,敏感单元置于气流通道的中央,因此其具有隔热性能好、响应速度快、死体积小及检测灵敏度高等特点.该检测器可实现对苯、CO等多种有害气体高灵敏检测,其中对苯的检出浓度可达到个位ppb.

关键词： 微型金属氧化物检测器 微机电系统 有害气体 检测灵敏度

作者: 孙建海 朱小峰 宁占武 马天军 张艳妮 刘锦华

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 100190 北京市劳动保护科学研究所 100054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 505-507

在线出版日期: 2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）