基于PGA309的薄膜压力传感器及其标定系统的设计
由于微加工工艺以及薄膜应变式工作原理等因素,使得薄膜压力传感器普遍存在温度漂移误差、非线性误差,影响传感器全温区测量精度,本文针对薄膜压力传感器的这些误差特性,设计了基于PGA309的薄膜压力传感器及其标定系统.信号处理电路用PGA309芯片替代了”单片机+放大滤波”电路,结构紧凑,有利于传感器小型化和一体化设计;标定调试系统,具有批量化、智能化特点,可以一次完成24台传感器产品的误差补偿和标定.经过试验验证,此设计不仅有效补偿传感器误差,提高压力测量精度,还能提高传感器的标定效率,实现传感器的高效生产.
薄膜压力传感器 标定系统 误差补偿 测量精度
孙延东 王明明 朱大治 陈杉杉 金小锋 张世名
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2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）