石英谐振式压力传感器设计与制造
本文设计了一款全石英三明治结构谐振式压力传感器,由感压膜片、谐振梁和背腔盖板三部分通过玻璃浆料键合而成.设计了带有振动衰减结构和应力均衡结构的双端固支音叉式谐振梁,减小能量损耗,提高品质因数;通过有限元模态分析方法,获得了敏感元件的输入压力与输出频率之间的关系.敏感元件利用MEMS工艺进行制作,采用三维电极制作、石英湿法腐蚀、玻璃浆料密封键合等工艺实现谐振梁、弹性膜片、背腔盖板和敏感元件的制造.在全温区-40℃～60℃对压力传感器进行1KPa～1000KPa压力标定,经温度补偿后压力测量精度为0.098％.
压力传感器 制造工艺 测量精度 有限元分析
韩东祥 王建 赵聪 金小锋 张世名 邹江波
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567-570
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）