MEMS空气质量气体传感器的研究

摘要：

介绍了以MEMS技术为的半导体类空气质量传感器,常见的有膜式结构和悬臂梁式结构.分别阐述了不同结构传感器的特点,并介绍了MEMS半导体气敏传感器的发展前景.

关键词： 大气监测 空气质量传感器 微机电系统 膜式结构 悬臂梁式结构

作者: 王利利 葛倩 乔磊

作者单位: 郑州炜盛电子科技有限公司,郑州45000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 615-618

在线出版日期: 2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）