基于PXI平台的MEMS电场传感器自动测试系统的设计
针对MEMS电场传感器的传统测试系统复杂、测试效率低和兼容性差等问题,设计了一种新型电场传感器自动测试系统.该系统基于高度集成的NI PXI平台,采用LabVIEW图形化编程语言,构成了传感器自动测试系统虚拟仪器框架.系统采用集散控制理念,将控制器与操作站分离,实现了对标准电场发生装置的控制、传感器微弱信号的采集与处理、数据分析与存储等,并且基于数字化相关解调技术,实现电场传感器对直流电场和交流电场的高精度标定测试.通过实验验证,测试系统工作稳定,传感器的测试精度小于1％.
电场传感器 微机电系统 自动测试系统 测量精度
陈博 彭春荣 郑凤杰 李冰 夏善红
中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室,北京100190
国内会议
成都
中文
641-644
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）