一种新型宽氧阈低功耗氢气传感器系统的研制
本文设计开发了一种基于MEMS技术的多通道氢气传感器系统,利用LabVIEW虚拟仪器平台对传感变送信号进行采集、存储、处理和数据分析.敏感材料分别选用N型半导体和P型半导体共六种掺杂金属氧化物,传感器件采用平面光刻及硅微加工工艺,集成了加热、测温及敏感等功能,功耗小于20mW;传感器系统可实现(0～1)％范围内氢气的检测,且适用于常量氧及低氧条件下的氢气检测,有望在航空航天、国防领域及公共安全等方面得到广泛应用.
氢气传感器 制造工艺 微机电系统 敏感材料
杨芳 刘琦 王新锋 官德斌
中国工程物理研究院化工材料研究所 四川绵阳621900
国内会议
成都
中文
700-703
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）