基于LOR的湿度敏感芯片网格状电极制作技术
网格状电极制作是湿度敏感芯片制作工艺的难点.为了提高湿度敏感芯片的响应时间,要求网格状电极金属线条尺寸达到微米级.本文利用LOR/PMGI胶的特性,研究了PMGI双层胶图形化工艺,分析了烘烤温度,烘烤时间,显影时间等工艺条件对PMGI双层胶结构的影响,实现了1微米线条尺寸的网格状电极制作.PMGI双层胶剥离工艺易于控制,利用该工艺制作出的网格状电极具有良好附着性和一致性,电性能满足湿度敏感芯片使用要求.经测试,湿度敏感芯片的响应时间为5秒,该制作技术适用于湿度传感器批量生产.
湿度敏感芯片 网格状电极 制作工艺 湿度传感器
李玉玲 宋尔冬 郑丽 陈婧
中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001
国内会议
成都
中文
757-760
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）