适用于大冲击环境的高精度数字式薄膜压力传感器的设计与实现
本文针对大冲击环境下高精度压力参数测量的需求,设计了一种高精度、高可靠数字式薄膜压力传感器.通过有限元分析软件ANSYS对传感器的大冲击响应特性与失效模式进行了预测,提出了结构方案;通过研究薄膜压力敏感元件的误差特性,提出了采用二维多阶曲线拟合的补偿算法,有效地提高了传感器测量精度.试验结果表明,传感器全温区精度优于1％F.S,并可在10000g的冲击环境条件下正常工作.
薄膜压力传感器 冲击响应 失效模式 误差特性 补偿算法 测量精度
李勇 王明明 常超 陈杉杉
航天长征火箭技术有限公司,北京100076
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2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）