无线无源颅内压传感器结构设计与优化

摘要：

为实时监测脑外伤患者颅内压力变化情况,提出了一种基于MEMS技术的植入式无线无源颅内压传感器.该传感器基于感应原理,由压力敏感电容和固定电感串联而成的LC振荡电路.针对该传感器结构,依次建立了力学场模型、电学场模型以及力学-电学耦合场模型,并进行了理论分析及有限元仿真验证.最后,采用了正交试验设计方法对模型参数进行优化设计,确定了传感器最优参数组合,使得传感器能够满足临床应用对器件灵敏度及检测精度的要求.

关键词： 颅内压传感器 结构参数 优化设计 检测精度

作者: 魏秋旭 王军波 陈健 陈德勇 赵明

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190;中国科学院大学,北京100049 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京100190 中国人民解放军总医院第一附属医院,北京100048

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 824-828

在线出版日期: 2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）