半导体纳米结构微观调控及其气体传感性能的提高
纳米材料具有大比表面积和可控物化性能,是获得高性能传感材料的基础.目前,提高半导体气体传感器敏感性能的手段主要是针对金属氧化物半导体纳米材料宏观性能的调控——结构的调控(分等级结构、中空结构、核壳结构)及成份的调控(计量比偏离、三元氧化物、四元氧化物等),对材料微观性能的调控研究较少.通过无模板一步水热法制备核壳α-Fe2O3。材料微观结构主要包括纳米材料的晶体结构及缺陷、晶面原子密度、晶面的价键密度等.通过调控纳米材料表面晶面的各参数,改善纳米材料表面活性位点的数量和位置,提高材料对感知目标的吸附能力和识别能力,最终提高材料气敏活性及气敏选择性.本文研究了Fe2O3纳米材料从宏观调控到微观调控其敏感性能的相应变化,丰富了纳米材料宏观结构和性能关系的机理模型,在提高纳米氧化物半导体的气体传感性能方面提供了更加有效的方法.
金属氧化物半导体纳米材料 制备工艺 微观结构 吸附能力 气敏活性 气体传感性能
张蕊 王丽丽 周婷婷 邓佳楠 张彤
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院
国内会议
成都
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15-18
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）