双线并绕无感铂薄膜热敏电阻器研制

摘要：

针对现有铂薄膜热敏电阻器抗电磁干扰能力较弱的问题,提出电磁场环境下精确测温的解决方案.基于电磁感应原理,在铂薄膜热敏电阻器版图设计上,采用双线并绕方法建立无感结构模型.选用无磁材料,通过对铂膜制备、精细刻蚀、陶瓷激光打孔等工艺方法研究,实现无感结构铂薄膜热敏电阻器制作.实验结果表明:该结构铂薄膜热敏电阻器在不同频率下电感特性明显降低,有效减小外界电磁场测温影响,适用于电磁场环境下精确测温.

关键词： 铂薄膜热敏电阻器 制备工艺 抗电磁干扰能力 无感结构模型 精确测温

作者: 王大兴 姜国光 孙立凯 王震

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十几研究所,黑龙江哈尔滨150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 117-120

在线出版日期: 2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）