PdCr薄膜电阻应变计研制及其高温应变敏感性能研究
在航空航天以及核电领域中,准确测量高温部件的应变、疲劳等结构参数十分重要,对满足高温应用环境的高温应变计需求非常迫切.本研究在镍基合金基底上研制了PdCr薄膜电阻应变计,依次在基片上沉积NiCrAlY作为过渡层来增强附着性,沉积YSZ/Al2O3作为复合绝缘层满足绝缘性需求,溅射PdCr合金作为应变敏感层,并采用金属掩模对PdCr敏感层进行图形化,最后沉积Al2O3薄膜层作为高温保护层,并对PdCr薄膜应变计的应变敏感系数(GF)以及高温环境下的表观应变、漂移应变等性能进行了表征.结果表明,不同温度下PdCr薄膜应变计的电阻值随应变呈良好的线性关系;在常温下,其应变敏感系数为1.40;在800℃时,应变计的表观应变系数127με/℃.应变计的电阻值随时间线性减小,导致的漂移应变约为1800με/hr,应变敏感系数为1.41.同时,对制备的PdCr薄膜应变计进行了可靠性评估和寿命评估.结果表明,其重复性测量误差约为5.71％,工作寿命超过10小时.
电阻应变计 制备工艺 敏感系数 高温环境 钯铬薄膜
刘豪 蒋书文 蒋洪川 赵晓辉 张万里
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054
国内会议
成都
中文
212-215
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）