分等级异质结构半导体氧化物气敏特性研究
气体传感器在有毒、有害、易燃易爆气体检测方面的重要作用,因此,开发出具有高灵敏度,低检测下限,良好选择性和长期稳定性的传感器具有重要的科研和实际应用意义.基于此,文中简单介绍几种最具代表性半导体氧化物分等级异质结构敏感材料的制备和气敏特性研究。以提高传感器灵敏度,选择性和降低检测检测下限为目标,通过结构增感和改性增感的方式,构筑了不同形貌的分等级半导体氧化物异质结构复合氧化物.气敏特性测试结果表明这些异质结构氧化物复合材料较单一氧化物表现出了更为优异的气敏特性(如更高的灵敏度,更快的响应速度等),这主要可归因于其独特的微观结构及基本构成单元之间的协同作用.
氧化物半导体 制备工艺 异质结构 气敏特性
孙鹏 刘畅 杨学莉 刘江洋 代明军 王天双 王博群 卢革宇
集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012
国内会议
成都
中文
258-261
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）