基于氢键酸性材料的声表面波传感器对有机硫气体的检测研究

摘要：

本文采用四种具有强氢键酸性(HBA)的材料:HC、SXPHFA、Adiol和SXFA作为敏感膜,以气喷工艺在433.92MHz声表面波(SAW)传感器件上制膜,对浓度在1mg/m3到29mg/m3的4种有机硫气体(甲硫醇,甲硫醚,二硫化碳,二甲二硫)进行了检测,测试结果表明,基于氢键酸性材料的声表面波传感器对4种有机硫气体有较高的频率响应值,且吸附和解吸速度快.四种敏感材料相比,HC和Adiol的灵敏度更高.

关键词： 强氢键酸性膜 气喷工艺 有机硫气体 声表面波传感器 频率响应

作者: 杨潇 杜晓松 龙吟 袁欢 郭鹏飞 文超

作者单位: 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子科技大学,四川610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 318-321

在线出版日期: 2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）