基于碳纳米管的微型富集器对有机硫气体的吸附研究
对极低浓度气体的检测一直是各种分析仪器面临的巨大挑战，在气体分析仪器的前端设置富集器可以使系统的探测能力提升1-3个数量级。本文采用MEMS工艺加工制作的8沟道格栅分流型通道作为富集器的微型结构,以碳纳米管作为主要吸附材料,通过气喷工艺在该结构表面制膜.硅片的背面使用磁控溅射技术制备Pt薄膜加热丝.本文对浓度在5mg/m3到10mg/m3的二硫化碳、甲硫醚进行了检测.测试结果表明:在富集时间为4分钟的情况下,此种富集器对低浓度的甲硫醚和二硫化碳气体的富集率分别可达到15、25倍左右.
气体分析仪器 富集器 制备工艺 格栅分流型通道 碳纳米管 有机硫气体 富集率
李亚茹 杜晓松 程璐婳 袁欢 郭鹏飞 文超
电子薄膜与集成器件国家重点实验室电子科技大学,成都610054
国内会议
成都
中文
327-330
2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）