聚丙烯酸/氧化石墨烯复合薄膜石英晶体微天平氨气传感器

摘要：

本文通过气喷沉积的方法制备出了基于聚丙烯酸(PAA)/氧化石墨烯(GO)复合薄膜的石英晶体微天平氨气(NH3)传感器,并对该传感器的灵敏度、选择性和重复性等气敏性能进行了测试.此外,本文通过红外光谱分析(FTIR)和扫描电镜分析(SEM)对PAA薄膜与PAA/GO复合薄膜进行了表征分析,并对薄膜的气敏响应机理进行了研究.实验结果显示PAA/GO复合薄膜传感器相比于单纯PAA薄膜及PAA-GO分层薄膜传感器灵敏度大幅提升,器件重复性好,响应拟合的线性度高,对氨气的选择性良好,适用于室温下低浓度氨气的检测.

关键词： 复合薄膜 聚丙烯酸 氧化石墨烯 气喷沉积法 气敏响应 氨气传感器

作者: 马行方 谢光忠 苏元捷 杜鸿飞

作者单位: 电子科技大学光电信息学院,成都610054 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 354-358

在线出版日期: 2016-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）