高效多晶硅沉积理论研究及产业化
多晶硅是集成电路和太阳能电池的基础材料,是世界发达国家竞相发展的战略性材料,多晶硅生产的沉积过程直接影响生产安全、质量、能耗和成本.本文研究了多晶硅沉积的基础理论,分析了沉积过程对产品质量、能耗、物料利用率等影响,并通过计算机模拟优化,完成了36对棒、48对棒、60对棒等大型高效节能还原炉反应器设计,其中36对棒和48对棒大型高效节能还原炉产业化效果良好,产能、产量和能耗均达到国际先进水平,对提升行业国际竞争力有积极推动作用.
多晶硅 沉积还原炉 反应器设计 沉积理论
严大洲 石何武 姚心 张升学 万烨 孙强 杨永亮
中国恩菲工程技术有限公司,北京100038 洛阳中硅高科有限公司,河南洛阳471023
国内会议
宁波
中文
392-399
2016-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）